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2. 充電注入設備<br>CID 是 1974 年通用電氣(Michon 1974) 發明的 X-Y 可定址光敏 MOS 電容器元件陣列。<br>圖元由兩個MOS電容器組成,這些電容器由沿<br>列和行(圖 1)。<br>場氧化物確保圖元分離,連續匯流排架構允許從陣列邊緣進行單個圖元控制。在每個圖元中,一個電極連接到柱匯流排,一個電極連接到行匯流排。<br>這允許每個匯流排充當感知節點或存儲節點。通過將信號從列傳輸到行(從存儲到檢測節點),可以完成對圖元的感應電荷過程。<br>CID圖元的基本操作如圖2(Ninkov等人,1994a)所示。為了累積圖元中事件光子生成的孔(圖 2,階段(a);累積),檢測節點和存儲節點都連接到負電位。<br>在預定時間之後,在測量零電平時,檢測節點浮動(圖 2,階段(b);零電平讀取)。<br>然後,通過將存儲節點連接到正電位,將存儲節點下的費用推送到檢測節點。<br>生成的電荷(現在在檢測節點下)被測量,並將其與零電平讀出(圖2,階段(c);信號讀出進行比較)。<br>失光子的數量與兩個測量值之間的差值成正比。<br>從這裡,有兩個選項可用;通過重新創建該節點的負電位,即在持續累積之前啟用無損讀出 (NDRO),將感應電荷驅動回存儲節點,或者將兩個節點設置為正電位並注入孔進入基板(圖2,階段(d);注射)。<br>電荷注入發生後,圖元將返回到其累積模式。任何圖元上的信號讀出不會影響陣列中其他圖元的狀態,並且讀出不需要<br>向圖元網站注入信號電荷或將電荷轉移出去。
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